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Évaluation de la qualité des surfaces diamantées gravées au plasma in situ pour la prolifération des MCV

By J. Langer and others
La gravure plasma in situ est une méthode courante pour préparer des substrats diamantés pour une prolifération épitaxiale afin d'obtenir une qualité supérieure. Cependant, il n'existe à ce jour aucune méthode pratique, directe et qualitative établie pour évaluer les performances du prétraitement de gravure. Nous proposons une optimisation du processus... Show more
January 19, 2021
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